台积电取得非易失性存储器和制造方法专利,实现具有硬掩模绝缘体的存储单元及其制造方法
发布时间:2024-1-11 23:11阅读:385
金融界2024年1月11日消息,据国家知识产权局公告,台湾积体电路制造股份有限公司取得一项名为“非易失性存储器和制造方法“,授权公告号CN113178520B,申请日期为2021年2月。
专利摘要显示,本发明的实施例提供了一种具有硬掩模绝缘体的存储单元及其制造方法。在一些实施例中,在衬底上方形成存储单元叠层,其中,存储单元叠层具有底部电极层、位于底部电极层上方的电阻转换电介质层,以及位于电阻转换电介质层上方的顶部电极层。在顶部电极层上方形成第一绝缘层。在第一绝缘层上方形成第一金属硬掩模层。然后,执行一系列蚀刻以图案化第一金属硬掩模层、第一绝缘层、顶部电极层和电阻转换电介质层,以形成第一金属硬掩模、硬掩模绝缘体、顶部电极和电阻开关电介质。本发明的实施例还提供了一种存储器单元。
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