2月13日，光刻机、光刻胶概念盘中异动拉升，富创精密飙涨11%，华海诚科涨超4%，芯源微、珂玛科技、拓荆科技等涨超3%。半导体设备ETF万家(159327) 盘中大涨2.31%。

半导体设备ETF万家(159327)跟踪中证半导体材料设备主题指数，备受资金青睐，近20日资金净流入超1.9亿，最新基金规模达11.23亿。

根据美国半导体行业协会数据，2025年，中国半导体销售额首次突破2000亿美元整数关口，超过2100亿美元，该销售规模同样刷新历史新纪录，同比增速超过15%，占全球半导体销售总额比重保持在三成左右。

此外，A股半导体公司2025年业绩持续走强。披露业绩的约70家半导体公司中，2025年营收超过百亿元的公司有5家，中芯国际位居首位，2025年营收突破600亿元关口，达到673.23亿元，创历史新高。

招商证券指出，AI服务器需求爆发正驱动DRAM与逻辑芯片资本开支高增，预计2026年全球晶圆前道制造设备（WFE）市场规模将突破1300亿美元并创历史新高，增长率有望达20%以上。

综合来看，半导体设备ETF万家(159327) 聚焦光刻、刻蚀、薄膜沉积、清洗设备及硅片、电子特气等核心“卡脖子”环节，覆盖北方华创、中微公司等龙头，是纯粹的“卖铲人”指数基金。在AI服务器、智能终端与存储芯片全面扩产的背景下，设备环节的资本开支周期有望延续至2030年，具备长期配置价值。

半导体设备ETF万家(159327)紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，该指数从沪深市场中选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映沪深市场半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。场外投资者也可通过联接（A类 023828 ，C类 023829）布局，共享半导体产业景气度上行以及芯片国产化红利。

（基金有风险，投资须谨慎）