目前市场上跟踪半导体设备相关指数的ETF基金有：
1. **半导体设备ETF（561980）**：该ETF跟踪中证半导指数，主要聚焦于半导体设备、材料等上游产业链公司。尽管近期半导体板块出现下跌，但资金流入趋势持续，该ETF连续7日净申购，累计逾2000万元 。
2. **半导体设备ETF（159516）**：在2024年8月1日，该ETF午后反攻，涨幅达到2%，成交额超6500万元。投资者可以通过该ETF的联接基金（019633）把握半导体设备投资机会 。
3. **易方达中证半导体材料设备主题ETF（159558）**：截至2024年7月31日，该基金的单位净值为0.9856，累计净值同样为0.9856，当日增长率为3.77% 。
关于哪个ETF基金的利率最高，通常ETF基金并不直接提供利率，它们是跟踪特定指数表现的投资工具。投资者的收益主要来源于ETF基金净值的增长以及市场交易价格的变动。如果需要了解具体基金的近期表现，可以查看基金的净值增长率或累计净值变化。

在选择半导体设备ETF基金时，投资者应考虑基金的跟踪误差、管理费用、基金规模、流动性以及基金公司的品牌等因素，并结合自身的投资策略和风险偏好做出决策。同时，半导体行业受宏观经济、技术发展、产业政策等多重因素影响，具有一定的波动性，投资者应充分了解并评估相关风险。