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半导体设备ETF与其他半导体相关基金相比，优势比较明显。和同类主动管理的半导体主题基金比，半导体设备ETF费率通常较低、交易成本不高，能紧密跟踪半导体指数，基本反映半导体板块整体表现。而且通过分散投资多只半导体股，可避免个股黑天鹅事件的影响。不过主动管理的同类基金，会因基金经理选股能力不同，业绩差异较大，优秀的基金经理可能获得超越指数的收益，但也可能跑输指数。另外，不同的半导体设备ETF由于跟踪指数、管理费率等有差异，业绩也会有所不同。
从历史业绩来看，不同时间段表现存在差异。2025年半导体相关ETF整体表现强势，受益于AI算力爆发，年涨幅普遍超过50%；去年半导体行业受全球半导体短缺影响，相关ETF整体表现较为突出，涨幅超过30%，而同期同类的科技主题基金平均涨幅为25%；今年上半年受市场调整和行业竞争加剧等因素影响，半导体相关ETF净值回撤较大，一度超过20%，而同类基金平均回撤在15%左右。近一年（2024年12月 - 2025年12月）头部半导体相关ETF年化收益率约18%，高于同类科技ETF平均12%的水平，但最大回撤达23%，波动显著大于宽基指数基金。
关于是否能进行定投，这要结合你的风险承受能力来看。半导体设备ETF当前估值处于历史低位（低于76%的时期），持有半年盈利概率约61%，具备一定中长期配置价值。若你风险承受能力较强且长期看好半导体行业，可采用定投或分批买入方式，平摊波动风险；若担心单一行业波动过大，建议通过资产配置分散风险。
如果你不知道如何挑选合适的半导体相关基金或者不确定是否适合定投，你可以下载“盈米启明星”APP并输入店铺码6521，里面有市场上更优秀的基金投顾策略。同时，右上角添加我的微信，我帮你详细规划，还送一份我自己多年总结的《基金定投实战秘籍》。
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