截至2026年2月6日 13:55，上证科创板半导体材料设备主题指数上涨0.38%，成分股欧莱新材上涨15.39%，耐科装备上涨5.69%，中芯国际上涨1.96%，新益昌上涨1.96%，中科飞测上涨1.29%。科创半导体ETF（588170）上涨0.40%，最新价报1.75元。

截至2026年2月6日 13:57，中证半导体材料设备主题指数上涨0.52%，成分股江丰电子上涨11.99%，有研新材上涨5.63%，矽电股份上涨4.70%，上海新阳上涨1.49%，北方华创上涨1.46%。半导体设备ETF华夏（562590）上涨0.21%，最新价报1.9元。

流动性方面，科创半导体ETF盘中换手7.81%，成交6.19亿元；半导体设备ETF华夏盘中换手3.94%，成交1.07亿元。

规模方面，科创半导体ETF近1月规模增长40.51亿元，实现显著增长，新增规模领先同类；半导体设备ETF华夏最新规模达27.11亿元。

资金流入方面，科创半导体ETF最新资金净流出3098.24万元。拉长时间看，近10个交易日内有6日资金净流入，合计“吸金”5.81亿元，日均净流入达5807.48万元；半导体设备ETF华夏最新资金净流出929.88万元。拉长时间看，近23个交易日内有18日资金净流入，合计“吸金”18.64亿元，日均净流入达8103.04万元。

消息面上，国产TGV电镀设备厂商苏科斯（江苏）半导体设备科技有限公司，近日宣布完成数千万人民币A轮融资。本轮融资由湖瓴基金独家投资，资金主要用于产能扩充、投入研发更高深宽比的TGV电镀设备，夯实TGV产品矩阵。

爱建证券指出，AI算力需求持续爆发，带动半导体设备、存储赛道景气度上行。ASML2025年业绩稳步增长，EUV光刻机技术壁垒显著；三星电子、SK海力士受益于存储芯片供需紧张、价格上涨，并持续推进高端存储产品研发。建议关注国产半导体设备及存储产业链上市公司的投资机会。

相关ETF：公开信息显示， 科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中 半导体设备（60%）和半导体材料（25%）细分领域的硬科技公司。 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求，扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），指数中半导体设备（63%）、半导体材料（24%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。