截至2025年11月13日 14:23，上证科创板半导体材料设备主题指数下跌0.18%。成分股方面涨跌互现，神工股份领涨9.16%，有研硅上涨3.49%，中船特气上涨2.60%；中科飞测领跌2.46%，拓荆科技下跌2.23%，京仪装备下跌2.18%。科创半导体ETF（588170）下跌0.21%，最新报价1.46元。

流动性方面，科创半导体ETF（588170）盘中换手8.83%，成交3.04亿元。拉长时间看，截至11月12日，科创半导体ETF（588170）近1月日均成交5.58亿元，领先同类。

规模方面，科创半导体ETF（588170）近1月规模增长3.89亿元，实现显著增长。

消息面上，近日，拓荆键科半导体设备有限公司发生工商变更，新增股东包括国投集新（北京）股权投资基金（有限合伙）、上海华虹虹芯二期创业投资合伙企业（有限合伙）等；

国投集新（北京）股权投资基金（有限合伙）为国家集成电路产业投资基金三期股份有限公司（简称“大基金三期”）的子基金。

公开资料显示，9月12日晚间，拓荆科技披露向控股子公司增资暨关联交易公告称，根据公司发展战略规划，为进一步推动控股子公司拓荆键科在三维集成设备领域的迅速发展，拓荆键科拟以投前估值25亿元的价格，融资共计不超过10.395亿元。大基金三期子基金国投集新将以不超过4.5亿元认缴拓荆键科新增注册资本192.1574万元。

开源证券指出，从工艺层面而言，存储扩产将会显著带动刻蚀与薄膜设备需求，带动设备价值量提升。因此，持续突破下，存储设备国产化率有望步入增长快车道。

相关ETF：公开信息显示， 科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中 半导体设备（61%）和半导体材料（23%）细分领域的硬科技公司。 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求，扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体材料ETF（562590）及其联接基金（A类：020356、C类：020357），指数中半导体设备（61%）、半导体材料（21%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。