截至2025年11月6日 11:01，上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨3.13%，成分股艾森股份上涨11.52%，拓荆科技上涨5.73%，中微公司上涨4.81%，中芯国际，华海诚科等个股跟涨。科创半导体ETF（588170）上涨3.05%，最新价报1.45元。

流动性方面，科创半导体ETF（588170）盘中换手7.39%，成交2.98亿元。拉长时间看，截至11月5日，科创半导体ETF（588170）近1月日均成交6.09亿元，领先同类。

规模方面，科创半导体ETF（588170）近1周规模增长4190.05万元，实现显著增长。

消息面上，11月5日，第八届进博会开幕。光刻机巨头ASML亮相国家会展中心技术装备展区集成电路专区。会上，ASML中国区总裁介绍3D集成方面，新款i-line光刻设备TWINSCAN XT：260于今年第三季度正式发货，可服务先进封装，还可支持主流市场的其他广泛应用，这款机型的生产效率能够提升高达4倍。

大同证券表示，持续看好由存储涨价所带来的周期性机遇，在AI基础设施建设的推动下，北美与国产算力领域均保持较高成长性，建议重点关注存储、算力需求板块。

相关ETF：公开信息显示， 科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中 半导体设备（61%）和半导体材料（23%）细分领域的硬科技公司。 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求，扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体材料ETF（562590）及其联接基金（A类：020356、C类：020357），指数中半导体设备（61%）、半导体材料（21%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。