截至2025年08月22日 09:59，半导体设备ETF基金(159327)上涨2.89%，最新价报1.426元，换手率5.31%。

半导体设备ETF基金(159327)成分股北方华创涨3.73%，芯源微涨3.29%，中微公司、安集科技、拓荆科技等纷纷上涨。

半导体设备ETF基金(159327)紧密跟踪半导体材料设备指数。中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

最新数据显示，半导体材料设备指数前十大权重股分别为北方华创、中微公司、沪硅产业、华海清科、拓荆科技、南大光电、长川科技、中科飞测、芯源微、安集科技。

半导体设备ETF基金(159327)，场外联接 (023828.OF,023829.OF）