截至2025年8月15日 11:14，上证科创板半导体材料设备主题指数上涨0.44%，成分股和林微纳上涨5.11%，龙图光罩上涨4.58%，新益昌上涨2.56%，欧莱新材上涨2.53%，华海诚科上涨2.43%。科创半导体ETF（588170）上涨0.28%，最新价报1.08元。拉长时间看，截至2025年8月14日，科创半导体ETF（588170）近2周累计上涨0.94%。流动性方面，科创半导体ETF（588170）盘中换手7.89%，成交3314.45万元。规模方面，科创半导体ETF（588170）近2周规模增长1011.94万元，实现显著增长。份额方面，科创半导体ETF近2周份额增长200.00万份，实现显著增长。资金流入方面，科创半导体ETF（588170）最新资金净流入1087.18万元。拉长时间看，近23个交易日内有19日资金净流入，合计“吸金”1.73亿元，日均净流入达750.13万元。

消息面上，近日，位于杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地传出喜讯：作为基地首批签约孵化的项目之一，首台国产商业化电子束光刻机已在客户现场进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。

东莞证券认为，AI渗透与国产替代趋势明确，维持半导体板块超配评级。受益AI驱动需求复苏和关键领域国产替代持续推进，半导体行业自2023年下半年以来逐步进入景气复苏周期，且2024年、2025年一季度营收、净利润维持增长态势，盈利能力也从2024年下半年开始逐步修复，并于25Q1实现同比正向增长。建议从成长空间和长期确定性出发，把握25Q1业绩表现较好的半导体设备与材料、AI算力、AI终端芯片、模拟芯片、半导体封测等细分板块。

相关ETF：公开信息显示，科创半导体ETF（588170）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备（59%）和半导体材料（25%）细分领域的硬科技公司。半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体材料ETF（562590）及其联接基金（A类：020356、C类：020357），指数中半导体设备（59%）、半导体材料（24%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。