半导体设备ETF的业绩表现与同类基金相比各有优劣。在半导体行业上升期，像2020年部分半导体设备ETF涨幅超50%，大幅跑赢同期沪深300指数；近一年部分半导体设备ETF涨幅超30%，也高于一些同类基金20%左右的涨幅。而且ETF分散投资，在市场下跌阶段波动相对较小，如去年三季度行业调整时，某半导体设备ETF回撤控制在15%以内，而部分主动管理的半导体基金回撤超20%。

半导体设备ETF的优势在于更聚焦于半导体设备领域，能精准把握该细分赛道的发展机遇，避免其他半导体产业链环节的干扰，且具有交易成本低、透明度高的特点。半导体设备是产业链核心环节，技术壁垒高，企业若取得技术突破或扩大市场份额，收益潜力大。不过，它也面临行业集中度过高的风险，如果半导体设备行业整体受挫，表现可能不如一些分散投资的同类产品。

当前半导体设备ETF的估值处于历史低位（低于85%的时期），持有半年盈利概率为56.56%，长期配置价值凸显，而且国产替代趋势明确，多位基金经理认为半导体设备是2025年科技主线，订单与盈利预期清晰，此时定投可分散建仓成本。不过半导体设备行业也面临着技术迭代快、竞争激烈、政策和贸易环境不确定等风险，若在行业下行阶段持续投资，也可能面临一定损失。

如果选择定投，优先推荐561980（半导体设备ETF），它近1年收益率42.37%，成立以来收益100.19%，表现更优；持有半年盈利概率63.25%，高于159516的56.46%；备选159516，其波动相对较低（近1年波动率33.74%），适合风险偏好稍低的投资者。

单纯投资半导体设备ETF风险相对集中，建议进行基金组合配置。我们盈米基金叩富团队精心打造了一系列基金组合，比如追求低风险稳健收益，可选择债券基金组合【日富一日】；看好指数长期发展，有偏指数基金组合【叩富稳盈组合】；如果还想拓展海外投资，有【叩富安盈组合】。

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