在选择半导体行业ETF时，您需要考虑几个关键因素：

1. 市场表现：了解不同市场的半导体ETF的表现。例如，在您的信息中提到的A股市场的半导体ETF（如代码159813）和港股市场的科技ETF（如代码513020），它们各自跟踪的指数和成分股可能有所不同。
2. 跟踪指数：不同的ETF会跟踪不同的指数，比如有的可能跟踪国证半导体芯片指数，有的则可能跟踪中证港股通科技指数。研究这些指数的构成和历史表现可以帮助您更好地理解ETF的投资标的。
3. 规模和流动性：通常情况下，较大规模和较高流动性的ETF交易成本较低，并且清盘风险较小。
4. 费用比率：比较不同ETF的管理费和其他相关费用，这会影响您的净回报。
5. 跟踪误差：选择跟踪误差较小的ETF，意味着该基金能更准确地反映其基准指数的表现。
6. 地域因素：考虑到地缘政治、贸易政策等因素对半导体行业的影响，以及各地区的经济发展趋势和政策支持程度。
7. 量化选基工具：可以使用量化选基工具来筛选出历史业绩好、规模大、跟踪误差小的ETF。

基于以上因素，您可以根据自己的投资目标、风险承受能力和市场预期来做出选择。如果您的投资视野偏向于国内市场的发展，那么A股的半导体ETF可能是合适的选择；若您希望在全球范围内分散投资，或者看好中国公司在海外市场的表现，那么港股或其他市场的ETF也值得考虑。

同时，建议关注最新的市场动态和分析师报告，以获取最新信息，并且可以通过咨询财务顾问获得专业意见。记得投资前要评估自身的风险承受能力，并做好充分的研究。

佣金默认万三左右，可以和您开户证券方式的服务经理协商调整，股票开户准备好二代身份证、自己同名银行储蓄卡您的手机上下载证券公司的交易软件，我司老牌上市券商，安全有保障性价比高！佣金在同行中很有竞争力，祝您投资顺利~