您好！选择性价比高的半导体ETF场内基金，可以从估值、规模、流动性、跟踪误差等方面综合考虑。以下是三只主流的半导体ETF场内基金推荐：
1. 半导体设备ETF（159516）：截至2025年12月30日，规模达88.23亿元，居同类产品首位，日均成交额超5亿元，流动性优势显著。该基金跟踪中证半导体材料设备主题指数，精准聚焦国产替代关键的设备、材料环节。适合看好半导体上游国产替代机遇的进取型投资者。
2. 国联安中证半导体ETF（512480）：截至2025年底规模达230亿元，日均成交额稳居行业前列，跟踪误差≤0.3%。该基金跟踪中证半导体全产业链指数，弹性适中。适合多数投资者作为半导体板块核心配置。
3. 华夏国证半导体芯片ETF（159995）：规模超250亿元，流动性充足。该基金聚焦半导体芯片核心赛道，成份股偏向设计与制造龙头，在AI芯片需求爆发背景下弹性突出。适合追求赛道聚焦、高弹性收益的投资者。

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