半导体设备ETF与同类基金相比，业绩表现各有特点。

从优势方面看：
- 紧密跟踪指数：能获得市场平均收益，成本较低。如今年以来，某只主动管理的半导体基金收益为30%，而半导体设备ETF收益为25%，但半导体设备ETF的管理费加托管费仅为0.6%，远低于主动管理基金的2%。
- 行业针对性强：半导体设备是产业链核心环节，技术壁垒高，企业若取得技术突破或扩大市场份额，收益潜力大。例如在行业上升期，2020年半导体设备ETF涨幅超50%，大幅跑赢同期沪深300指数，部分半导体设备ETF近一年涨幅超30%，也高于一些同类基金20%左右的涨幅。
- 分散投资：在市场下跌阶段波动相对较小。如去年三季度行业调整时，某半导体设备ETF回撤控制在15%以内，而部分主动管理的半导体基金回撤超20%。

不过，半导体设备ETF也存在劣势：行业集中度过高，如果半导体设备行业整体受挫，表现可能不如一些分散投资的同类产品。

当前全球半导体产业处于复苏阶段，国内大力扶持，长期来看半导体设备ETF有投资价值，但短期可能因市场情绪、宏观经济等因素波动。若您看好半导体行业长期发展，且风险承受能力较高、投资期限较长，可考虑适当配置半导体设备ETF。但单纯投资半导体设备ETF风险相对集中，建议进行基金组合配置。

如果选择定投，优先推荐561980（半导体设备ETF），它近1年收益率42.37%，成立以来收益100.19%，表现更优；持有半年盈利概率63.25%，高于159516的56.46%；备选159516，其波动相对较低（近1年波动率33.74%），适合风险偏好稍低的投资者。

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