半导体材料ETF的历史业绩不能完全反映其未来走势。半导体材料ETF历史业绩波动较大，不过在同类产品中总体表现较好。以华夏中证半导体材料设备主题ETF（基金代码：562590）为例，截至2025年12月1日，今年以来净值增长率42.90%，过去一年26.89%，成立以来50.29%。再如规模最大的华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF 588170，截至11月11日净值1.4708，成立以来收益率达47.08%，收益能力优于92.43%同类基金。不过，其波动和回撤也较高，近1年波动率32.71%，最大回撤 -22.91%，抗波动能力仅优于11.88%的同类。所以，仅依据历史业绩无法判断现在是否可以买入半导体材料ETF。

目前基本面上，在人工智能应用爆发式增长、国产替代纵深推进、智能汽车等下游需求增长多重推动下，半导体行业整体呈现复苏态势。2025年全球半导体增长延续乐观走势，AI驱动下游增长，政策对供应链中断与重构风险持续升级，国产替代也在持续推进，中证半导指数2025年Q3营收和净利润都实现同比增长，整体保持复苏态势。从估值来看，当前估值处于历史低位（低于85%的时期），持有半年盈利概率64.52%，具备较高配置价值。

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