半导体ETF里有不少涉及第三代半导体碳化硅的公司。以易方达旗下的半导体相关ETF为例，易方达中证半导体材料设备主题ETF联接基金（A类021893；C类021894）和易方达中证芯片产业ETF（516350），其成分股中就包含了多家第三代半导体企业：
1. 三安光电：作为碳化硅全产业链IDM企业，其子公司湖南三安布局垂直整合，还与意法半导体合资建设8英寸产线。
2. 露笑科技：是碳化硅衬底及外延片生产商，规划年产能10万片，并且与比亚迪等头部企业合作。
3. 东尼电子：专注于碳化硅切割线及导电材料，市占率超35%，技术突破提升了切割效率。
4. 斯达半导：作为IGBT模块龙头，布局了碳化硅功率模块，获多个车规级项目定点。
5. 晶盛机电：是碳化硅长晶设备龙头，还延伸至衬底材料生产，8英寸衬底产能有所提升。