您好！国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）的最高申购费率未明确提及。不过，其基金管理费率为每年0.50%，托管费率为每年0.10%。

至于现在是否适合做定投，需要综合多方面因素判断。半导体行业具有周期性强、技术迭代快等特点。从长期来看，随着科技的不断发展，半导体的需求有望持续增长。但短期内，行业可能会受到宏观经济、政策、市场竞争等因素的影响而出现波动。

如果您看好半导体行业的长期发展，且能承受一定的投资风险，那么可以考虑采用定投的方式投资半导体设备ETF。通过定期定额投资，可以平均成本、降低风险，同时也能避免因短期市场波动而做出错误的投资决策。

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