就目前信息来看，半导体设备ETF（561980）对光刻胶板块持仓可能较多。该ETF跟踪中证半导，权重中“半导体设备 + 材料”约70%，含量较高，其成份股包含了晶瑞电材、南大光电等光刻胶概念股。

投资光刻胶相关ETF要了解这些细节：
1. 持仓情况：要清楚ETF具体持仓的光刻胶企业有哪些，这些企业的市场地位、技术实力和发展前景等会影响ETF表现。
2. 跟踪指数：不同ETF跟踪的指数不同，指数的编制方法、样本股选择等会导致ETF在不同市场环境下表现有差异。
3. 基金规模和流动性：规模较大、流动性好的ETF，交易成本相对较低，买卖时能更及时成交。
4. 业绩表现：参考ETF过去的净值增长率等指标，不过过去业绩不代表未来表现。

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