我没办法直接给出人工智能ETF基金的排名，但可以给你介绍一些表现不错的人工智能ETF基金：
- 易方达人工智能ETF（159819）：跟踪中证AI指数，规模222亿，流动性顶级，管理费率0.5%，覆盖算力、算法、应用全链。
- 华夏人工智能ETF（515070）：规模超90亿，成分股聚焦光模块、半导体，适合偏好算力硬科技的投资者，该基金年内份额增长了92%，2025年以来规模增长216.9%至93.75亿元，近一年涨幅71.58%，远超沪深300。
- 科创AI ETF（589520）：半导体持仓超50%，弹性大，适合博弈国产替代加速的场景。
- 科创创业人工智能ETF永赢（159141）：作为全市场首只成立的产品，已跃居同类规模第一，流动性优势突出。它聚焦AI全链条，其跟踪的科创创业AI指数近三年累计收益达254.54%，年化收益52.42%，显著跑赢同类人工智能指数及宽基指数。

市场情况不断变化，基金的表现也会随之变动。在选择投资人工智能ETF基金时，你要考虑基金规模、流动性、跟踪误差等因素，并且要结合自身的风险承受能力和投资目标。如果你想获取更适合自己的投资建议，欢迎下载“盈米启明星”APP并输入店铺码6521，也可以右上角加我微信，我会为你详细规划。