华夏中证机器人ETF（562500）：成立于2021年12月，规模最大，截至2025年4月9日份额达142.59亿份，适合中长期持有。
天弘中证机器人ETF（159770）：成立于2021年，规模位居第二，截至2025年4月9日份额为53.50亿份，流动性较好，且实现了超额收益。
嘉实中证机器人ETF（159526）：成立于2021年，规模相对较小，截至2025年2月7日基金资产净值为3.55亿元。
银华中证机器人ETF（562360）：成立于2021年，规模较小，截至2025年2月7日基金资产净值为2.56亿元。
国泰中证机器人ETF（159551）：成立于2021年，规模较小，截至2025年2月7日基金资产净值为1.83亿元。
万家机器人ETF（560630）：成立于2025年3月19日，截至2025年4月8日份额为5.81亿份，规模4.78亿。了解更多ETF详细可以加我微信，基金费率优惠很低。