以下是一些光刻机龙头股：

A股

- 苏大维格：国内领先的微纳光学制造商，向上海微电子提供定位光栅部件，纳米压印技术国内领先。
- 冠石科技：规划2025年45nm掩膜板量产，2028年28nm掩膜版量产。
- 张江高科：持有上海微电子9.0888%的股权，上海微电子是国内唯一从事高端光刻机研产销企业。
- 上海电气：母公司上海电气控股集团有限公司为上海微电子第一大股东。
- 京华激光：在激光全息防伪材料等领域有优势，与光刻机相关的光学材料等业务有一定关联性。
- 福晶科技：全球最大LBO、非线性光学晶体生产商，其晶体产品可应用于光刻机的激光系统等。

其他相关股

- 芯碁微装：国内直写光刻设备供应商，已完成90nm技术节点制版应用研发。
- 永新光学：在光学精密制造领域有深厚沉淀，光刻镜头应用于PCB光刻设备，核心光学模组应用于光刻检测系统。
- 中瓷电子：研发的精密陶瓷零部件应用于国产光刻机等半导体设备。
- 赛微电子：为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的晶圆制造服务。