以下是一些被市场认为是光刻机概念的龙头股：

华特气体：公司的光刻气产品在2017年通过ASML的认证，2021年通过了日本厂商GAGI PHOTON的认证，也是国内唯一一家气体公司同时得到全球第一大和第二大光刻机生产设备商认证的公司。

南大光电：在光刻胶等领域具有较强的技术实力和市场地位，其研发的光刻胶产品在国内市场有一定的影响力。

容大感光：国内领先的感光电子化学材料供应商，主营业务包括光刻胶及配套化学品的研发、生产和销售，产品应用于多个领域。

三安光电：在化合物半导体等领域占据重要地位，其产品和技术在半导体产业链中具有较高的价值，与光刻机应用的半导体产业紧密相关。

苏大维格：主营业务涵盖光刻机设备的研发、生产和销售，以及提供相关的技术服务，在光刻技术应用方面有深厚的技术积累。

大族激光：国内激光设备行业的领军企业，生产的接近式光刻机已投入市场，步进式光刻机已启动用户优化，在光刻机相关技术领域有一定的实力。