截止至2023年9月底和10月初提供的信息，并没有直接提及“光刻机重组概念股"，只提到了光刻机概念股列表。重组概念股是指那些因公司内部重大重组、并购或资产整合等活动而引起市场关注的股票。如果某个涉及光刻机产业的上市公司正在进行或已完成重组，理论上它会被视为“光刻机重组概念股”。
但是，由于没有确切和实时的重组动态信息，我们无法提供精确的"光刻机重组概念股"名单。要查找最新的光刻机重组概念股，您需要关注证券市场的实时公告、新闻报道以及专业财经网站的最新动态，及时获取上市公司的重组信息。
建议您可以关注以下几个方面来捕捉潜在的光刻机重组概念股
1.查阅近期上市公司发布的重组公告或意向书。
2.阅读财经媒体的报道，看是否有光刻机产业链上的公司宣布或正在进行重组计划,
3.关注相关行业协会和研究机构的动态，了解光刻机行业的发展趋势和政策导向，从中挖掘可能进行重组的企业
由于股票市场信息时效性强，请您务必核实最新的公开信息披露和市场动态。