光刻机概念上市公司龙头股票包括但不限于以下几家：

南大光电（300390.SZ）：

主营业务：包括光刻胶、光刻机及相关产品的研发、生产和销售。

核心优势：在光刻胶领域具有较强的竞争力，同时在光刻机领域拥有多项核心专利技术。其产品覆盖了从LED到半导体芯片所需的全系列光刻机，并已成功打入国内外知名企业的供应链。

张江高科（600895.SH）：

主营业务：主要聚焦于智能制造、云计算、人工智能等新兴产业。在芯片制造领域也拥有较强的实力。

核心优势：旗下子公司上海微电子装备有限公司在光刻机领域拥有多项核心专利技术，其产品已经达到了国际领先水平。同时，张江高科还积极布局智能芯片领域，有望在未来的智能芯片市场中取得更多突破。

华工科技（000988.SZ）：

主营业务：专注于工业自动化领域，其主营业务包括智能制造、自动化生产线等。在芯片制造领域也拥有较强的技术积累和产品研发能力。

核心优势：不仅在封装测试领域拥有完整的生产线，还在光刻机领域拥有多项核心专利技术。目前，华工科技已成为国内工业自动化和芯片制造领域的重要企业之一。

晶方科技（603005.SH）：

主营业务：专注于传感器领域，主要产品包括手机摄像头模组、汽车摄像头模组、3D Sensing模组等。由于传感器对于芯片制造过程中的重要性，晶方科技也涉足了光刻机领域。

核心优势：不仅在晶圆级封装领域具有较强的技术积累，还在光刻机领域拥有多项核心专利。目前，晶方科技已成为国内传感器和光电子领域的重要企业之一。

联创股份（300343.SZ）：

主营业务：专注于微电子领域，其主营业务包括半导体材料、半导体设备及器件的研发、生产和销售。

核心优势：在半导体材料领域具有较强的竞争力，同时在光刻机领域也拥有多项核心专利技术。目前，联创股份已成为国内微电子领域的重要企业之一，其产品已经广泛应用于国内外知名企业的生产线中。

请注意，以上信息仅供参考，投资股市有风险，投资者在做出决策前应进行充分的研究和风险评估。

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