1. 半导体主题基金：这类基金主要投资于半导体行业，包括光刻机制造商、材料供应商、芯片设计公司等。例如，国联安中证半导体ETF等。
2. 光刻机概念基金：这类基金主要投资于光刻机相关企业，包括光刻机制造商、零部件供应商、材料供应商等。例如，华宝光刻ETF等。
3. 半导体设备基金：这类基金主要投资于半导体设备制造企业，包括光刻机、薄膜沉积设备、刻蚀设备等。例如，国泰CES半导体芯片行业ETF等。
4. 科技主题基金：这类基金主要投资于科技行业，包括半导体、人工智能、云计算、5G等领域，其中也包括光刻机相关企业。例如，广发科技先锋混合等。

在选择光刻机概念基金时，需要综合考虑基金的投资策略、持仓情况、业绩表现等因素，同时也要关注市场风险和政策变化等因素。此外，投资者还需要注意基金的费用情况，包括管理费、托管费、销售服务费等，以避免不必要的成本支出。

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