国内半导体产品线最全玩家，16-19年归母净利润CAGR+49.2%。公司产品覆盖集成电路、光伏、LED、面板四大泛半导体领域以及真空设备（主要为光伏单晶炉）、前中段锂电设备和电子元器件，其中泛半导体业务收入占比过半。公司16年收购北方微电子拓展高端Etch、PVD、CVD等业务，16-19年公司收入CAGR+35.8%，归母净利润CAGR+49.2%。2019年公司研发投入收入占比达28.0%，毛利率40.53%，净利率9.11%。20Q1公司反映订单预收款的合同负债科目金额达26.4亿元，较年初+79.6%，反应公司在手订单充裕。

半导体设备国产替代加速，多元布局助力设备公司穿越周期。全球半导体产业链正在向中国大陆转移。据中国半导体产业协会统计，2018年国内半导体设备国产率不足12%，提升空间广阔。受EUV13.5nm波长限制，14nm及以下先进工艺主要靠刻蚀、薄膜沉积突破，清洗则是提升先进工艺产品良率的关键。2019年国内刻蚀、薄膜沉积、清洗设备市场规模分别为181亿元、134亿元和50亿元。在政策指引叠加大基金支持下，中微公司、北方华创、精测电子和盛美半导体等公司设备已进入主流晶圆厂产线量产。

光伏行业装机量复苏，20年单晶炉市场空间达119亿元。据光伏协会预计，2020年国内新增装机量达35-45GW，同比增长15%-50%；国内单晶硅片产能增量达59.5GW，隆基、中环占比超8成，龙头企业设备投资扩产强劲，预计2020年单晶炉投资规模将达119亿元。

晶圆厂加速投资背景下公司市占率提升，国产替代推动公司未来业绩增长。据芯思想研究院统计，2019年底国内投产+在建+规划中的晶圆厂共有57个，合计投资额超过15000亿元，其中以中芯国际、长江存储、积塔、华虹、燕东等先进制程、存储器和特色工艺厂为主。公司刻蚀、薄膜、清洗、炉管设备在上述晶圆厂中市占率不断提升。此外，预计光伏龙头隆基股份扩产将为公司未来两年带来19.4亿元收入。泛半导体设备国产替代加速将推动公司未来业绩增长。

盈利预测与投资建议：鉴于下游晶圆厂进入投资扩张期，以及公司泛半导体产品线丰富，高端产品不断突破，预计2020-2022年公司归母净利润为4.7亿元、7.4亿元、9.6亿元。对应PE158/101/77倍，首次覆盖给予“持有”评级。

风险提示：半导体产业周期波动、国产替代不及预期、美国技术管制加强。