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半导体设备ETF的历史业绩与同类基金相比各有优劣，其历史业绩波动明显。在行业上升期，如2020 - 2021年因技术突破和市场需求大增，涨幅超50%，大幅跑赢沪深300指数；近一年部分半导体设备ETF涨幅超30%，高于一些同类基金20%左右的涨幅。而且ETF分散投资，在市场下跌阶段波动相对较小，如去年三季度行业调整时，某半导体设备ETF回撤控制在15%以内，而部分主动管理的半导体基金回撤超20%。以华夏中证半导体材料设备主题ETF为例，截至2025年11月20日，今年以来净值增长率达41.18%，过去一年为24.29%。再如半导体设备ETF易方达，截至2025年12月16日，今年以来基金回报51.6%，同类排名303/3356，且在当日同类基金中跌幅最小。
半导体设备ETF聚焦半导体设备领域，行业针对性强，技术壁垒高，能精准把握该细分赛道的发展机遇，避免其他半导体产业链环节的干扰，且具有交易成本低、透明度高的特点。若相关企业取得技术突破或扩大市场份额，收益潜力较大。不过，其行业集中度过高，若半导体行业整体受挫，表现可能不如分散投资的同类产品。
当前全球半导体产业处于复苏阶段，在人工智能应用爆发式增长、国产替代纵深推进、智能汽车等下游需求增长多重推动下，半导体行业整体呈现复苏态势，中证半导指数2025年Q3营收和净利润均实现同比增长。长期来看，半导体设备ETF有投资价值。如果你看好半导体行业长期发展，且风险承受能力较高、投资期限较长，可考虑通过定投的方式适当配置半导体设备ETF，定投可以在一定程度上平滑市场波动的影响。但需注意，单纯投资半导体设备ETF风险相对集中，建议进行基金组合配置。
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发布于2025-12-29 13:18 南京
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