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半导体设备ETF历史业绩波动显著。在行业上升期，如2020年其涨幅超50%，大幅领先沪深300指数；但在行业低谷期，像2022年则遭遇大幅调整。以部分半导体设备ETF为例，华夏中证半导体材料设备主题ETF截至2025年11月20日，近一年涨24.29%，今年以来净值增长率达41.18%；半导体设备ETF（561980）近1年收益率30.73%，今年以来达57.03%，成立以来实现翻倍收益，但近1年波动率达35.49%，最大回撤21.7% 。还有半导体设备ETF基金（159327），今年以来基金回报41.2% 。
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发布于2025-12-8 22:49 北京
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