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部分半导体ETF中虽没有直接持有上海微电子这类光刻机公司，但有涉及光刻机产业链相关企业。以下是一些相关ETF介绍：
- 半导体产业ETF（159582）：紧密跟踪中证半导体产业指数，覆盖A股半导体材料、设备及相关应用等核心环节，行业纯度高、代表性强。虽未明确提及有上海微电子，但涵盖了半导体产业链的诸多环节。
- 科创半导体ETF（588170）：跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，精选科创板中专注半导体设备（占比59%）与材料（占比25%）的硬科技企业。成分股覆盖光刻胶涂布设备（拓荆科技）、精密零部件（和林微纳）等国产替代核心环节，受益于AI算力需求爆发及国产光刻机技术突破。
- 半导体设备ETF（159516）：聚焦半导体设备制造，覆盖光刻机配套的精密光学部件、运动控制系统等核心技术企业（如华卓精科、晶盛机电）。
- 半导体材料ETF（562590）：跟踪中证半导体材料设备主题指数，成分股包括光刻胶龙头（晶瑞电材、华海诚科）及半导体材料供应商，国产替代空间显著。
- 国联安中证半导体ETF（512480）：持仓涵盖北方华创、中微公司等设备供应商，光刻机设备材料类企业占比达26%。
上海微电子在工博会上首次公开光刻机参数图，标志着国产光刻机技术进展的透明度提升，引发市场关注。长期看，半导体设备国产化方向明确，相关ETF值得关注。
- 半导体产业ETF（159582）：紧密跟踪中证半导体产业指数，覆盖A股半导体材料、设备及相关应用等核心环节，行业纯度高、代表性强。虽未明确提及有上海微电子，但涵盖了半导体产业链的诸多环节。
- 科创半导体ETF（588170）：跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，精选科创板中专注半导体设备（占比59%）与材料（占比25%）的硬科技企业。成分股覆盖光刻胶涂布设备（拓荆科技）、精密零部件（和林微纳）等国产替代核心环节，受益于AI算力需求爆发及国产光刻机技术突破。
- 半导体设备ETF（159516）：聚焦半导体设备制造，覆盖光刻机配套的精密光学部件、运动控制系统等核心技术企业（如华卓精科、晶盛机电）。
- 半导体材料ETF（562590）：跟踪中证半导体材料设备主题指数，成分股包括光刻胶龙头（晶瑞电材、华海诚科）及半导体材料供应商，国产替代空间显著。
- 国联安中证半导体ETF（512480）：持仓涵盖北方华创、中微公司等设备供应商，光刻机设备材料类企业占比达26%。
上海微电子在工博会上首次公开光刻机参数图，标志着国产光刻机技术进展的透明度提升，引发市场关注。长期看，半导体设备国产化方向明确，相关ETF值得关注。
发布于2025-12-6 13:45 广州
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