半导体设备ETF的历史业绩可以作为购买参考，但不能作为唯一依据。从历史业绩来看，部分半导体设备ETF表现优异，比如半导体设备ETF 561980近1年收益率61%，优于94.83%同类基金；159516近1年收益49.82%，优于89.34%同类；广发中证半导体材料设备ETF（560780）近一年收益77.12%，收益能力优于96%以上的指数基金。然而，半导体设备ETF历史业绩波动大，近1年波动率达35.49%，最大回撤21.7%，抗波动能力在同类中仅优于6.25%的产品，短期波动较大。

从行业层面来看，当前半导体设备行业呈现高景气态势。2025年半导体设备指数显著跑赢大盘，当前估值处于28%分位点。展望2026年，国内晶圆厂产能利用率回升、扩产意愿强烈，AI驱动存储超级周期，国内先进逻辑&存储扩产有望共振，叠加自主可控逻辑下国产化率继续提升，有望带动设备需求向上。但投资半导体设备ETF也存在一定风险，比如存储芯片短缺可能导致2026年市场下滑，手机厂商面临的成本压力加大等。

对于是否现在购买半导体设备ETF，需要结合个人情况判断：
- 若您想精准把握买入时点，建议通过盈米启明星小程序添加店铺“叩富”，输入后不仅能查看半导体设备ETF与同类基金的实时业绩对比、估值分位等专业数据，还能享受1折费率起费率（申购费0.10%），同时获得投顾团队的买卖点提醒服务，避免盲目追涨杀跌。
- 若您的投资组合中半导体板块配置不足（低于10%），且有3年以上闲置资金，可考虑小仓位布局。
- 若您已持有宽基半导体基金，设备ETF可作为细分补充，但总仓位需控制在15%以内，分散风险。

单纯投资半导体设备ETF风险相对集中，建议进行基金组合配置。盈米基金叩富团队打造了一系列基金组合，如【叩富安盈组合(R2)】、【叩富稳盈组合(R3)】、【叩富定盈组合(R3)】等。通过合理搭配不同基金组合，能帮您分散风险，实现财富稳健增值。

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