半导体设备ETF与同类基金相比，业绩表现各有优劣。从历史业绩来看波动明显，在半导体行业上升期表现亮眼，如2020 - 2021年因技术突破和市场需求大增，部分半导体设备ETF涨幅超50%，大幅跑赢沪深300指数；近一年部分半导体设备ETF涨幅超30%，高于一些同类基金20%左右的涨幅。

以具体基金为例，截至2025年12月16日，半导体设备ETF易方达今年以来基金回报51.6%，同类排名303/3356，且在当日同类基金中跌幅最小；截至2025年12月3日，半导体设备ETF基金（159327）今年以来基金回报41.2%，同类排名554/3364；截至2025年11月20日，华夏中证半导体材料设备主题ETF今年以来净值增长率达41.18%，过去一年为24.29%。此外，截至2025年10月28日，易方达中证半导体材料设备主题ETF近1月涨幅0.91%，同类平均为2.07%，同类排名361/5584；近3月涨幅39.01%，同类平均11.20%，同类排名474/5195；近6月涨幅49.19%，同类平均28.88%，同类排名799/4792；近1年涨幅48.61%，同类平均23.90%，同类排名727/4036。

另外，部分半导体设备ETF近一年收益率较高，处于行业前列。如半导体设备ETF 561980近1年收益率61%，优于94.83%同类基金；159516近1年收益49.82%，优于89.34%同类。从夏普比率来看，561980近1年夏普比率1.35（优于81.67%同类），159516为1.17（优于67.05%同类），前者性价比更优。当前部分半导体设备ETF估值处于历史低位，具备长期配置价值，如561980估值低于73%时期，159516低于85%时期。

不过，半导体设备ETF也有劣势。它聚焦半导体设备领域，行业针对性强，行业上升期收益潜力大，但也面临行业集中度过高风险，行业受挫时表现可能不如分散投资的同类产品。并且其历史业绩波动大，近1年波动率达35.49%，最大回撤21.7%，抗波动能力在同类中仅优于6.25%的产品，历史业绩抗波动能力较弱，短期波动较大。

至于现在是否值得购买半导体设备ETF，需要综合多方面因素考量。消息面显示，长鑫科技科创板IPO申请获受理，募投项目计划总投资345亿元，主要用于存储器晶圆制造量产线技术升级改造及DRAM前瞻技术研发，本轮资本开支持续上行叠加设备国产化率不断提升，国产半导体设备迎来历史性发展机遇。浙商证券指出，2026年全球半导体市场预计将继续增长9%至7607亿美元，在AI驱动下行业景气度高企。中国晶圆厂产能利用率回升，扩产意愿强烈，叠加AI驱动存储超级周期以及国产化率提升趋势，国内先进逻辑与存储扩产有望共振，带动半导体设备需求持续向上。

如果你认可半导体设备行业的长期发展前景，且能承受一定的投资风险，可以考虑将半导体设备ETF纳入投资组合。不过，短期来看半导体设备ETF的价格波动可能较大，你可以通过定投平滑投资成本，分散风险。单纯投资半导体设备ETF风险相对集中，建议进行基金组合配置。

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