纳米压印技术迎来重要进展
发布时间：2023-5-15 09:18阅读：555
问一问纳米压印技术迎来重要进展据报道，近日，有消息披露，SK海力士从佳能引进纳米压印设备，计划在2025年左右使用该设备开始量产3D NAND闪存，目前测试结果良好。另一存储巨头三星为了解决引进多图案工艺导致的成本上升问题，除导入EUV光刻机之外还开发了包括纳米压印技术在内的3-4种解决方案。此外，铠侠、东芝等日存储大厂在纳米压印技术领域已有相关布局。
点评：在芯片领域，纳米压印尚处于产业化初期阶段，在良品控制、模板寿命等方面存在短板。目前，EUV光刻机等系统复杂度、技术瓶颈和成本问题等日益突出，纳米压印技术迎来曙光，商业化进程明显加速，佳能等半导体设备制造商、材料商以及工艺商纷纷开始涉足这一领域。
相关公司：300331苏大维格、301013利和兴、300666江丰电子、晶合集成
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