您好！半导体设备ETF是一种跟踪半导体设备相关指数的交易型开放式指数基金。要对比它与同类基金的历史业绩，不能简单一概而论，因为同类基金包含多种类型，且不同时间段内表现差异较大。

历史业绩方面，半导体设备ETF的表现通常与半导体行业的整体发展状况紧密相关。在半导体行业处于上升周期时，半导体设备ETF可能会有较为出色的表现，因为半导体设备作为行业的上游，会受益于下游需求的增长。然而，如果行业处于下行周期，其业绩也可能受到较大影响。

至于现在能不能购买，这需要综合多方面因素来判断。从行业趋势来看，半导体产业是国家战略支持的重要领域，长期发展前景广阔。但短期而言，半导体设备ETF的价格会受到市场情绪、宏观经济环境、行业竞争等多种因素的影响。

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