半导体材料ETF历史业绩表现亮眼，但波动和回撤也比较高。以华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF为例，截至2026年5月12日，其净值为2.2123，日涨跌幅3.76%。今年以来净值增长率47.22%，过去一周12.35%，过去一月28.36%，过去一季25.61%，过去半年51.77%，过去一年124.05%，成立以来121.23%。

易方达中证半导体材料设备主题ETF紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，在2018年12月28日至2024年3月22日这一时间段内，该指数累计收益率达到195.73%，年化收益率约为23.83%，年化夏普比率为0.641，这些指标均优于沪深300、中证500等宽基指数，同时也超过了中证全指半导体和国证芯片这两只同类行业指数。

半导体材料ETF（562590）截至2026年1月1日，近1年收益率20.20%，今年以来为48.03%，成立以来达55.68%，长期跑赢同类平均，优于82.39%同类。不过，该ETF近1年波动率32.71%，最大回撤 -22.91%，抗波动能力仅优于11.88%的同类。此外，半导体材料ETF近1年波动率在32.63% - 36.19%之间，最大回撤超19%，过去一年板块最大回撤曾超30%。

关于是否可以购买半导体材料ETF，需要综合多方面因素考量。积极因素包括目前半导体材料ETF估值处于历史低位，下跌空间有限，安全边际较高；整体历史业绩在同类中较为突出，长期收益能力优秀；2024年全球半导体市场规模预计同比增长，行业景气度逐步恢复，中国大陆半导体设备市场有望进一步扩大。风险因素有该基金最大回撤较大，短期波动较大，需要匹配稳健型以上风险偏好；半导体行业具有周期性，且受政策、技术创新、国际贸易等多种因素影响，波动性较大，市场短期波动难以预测。

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