中银国际证券分析，我国12英寸本土晶圆厂对美国设备的依赖度达到47%（按台数计算），对美国依赖程度最大的工艺设备依次是镀铜设备、PVD、离子注入机、CMP、刻蚀设备、量测设备、CVD；而光刻机主要从荷兰ASML进口，清洗设备、热处理设备、Track主要从日本采购。

按工艺设备具体分类看，对美国依赖程度高的设备，主要有：

1、离子注入机：对美依赖度69%，主要从美国应用材料和亚舍立进口，离子注入机的国产化主要有中科信和凯世通；

2、CMP：对美依赖度68%，主要从美国应用材料进口，CMP设备的国产化主要有华海清科；

3、PVD：对美依赖度84%，主要从美国应用材料进口，PVD设备的国产化主要有北方华创；

4、CVD：对美依赖度54%，主要从美国应用材料、Lam Research进口，CVD设备的国产化主要有沈阳拓荆、北方华创；

5、刻蚀设备：对美依赖度64%，主要从美国应用材料、Lam Research进口，刻蚀设备的国产化主要有中微半导体、北方华创、屹唐半导体；

6、量测设备：对美依赖度50%-80%不等，主要从美国KLA、应用材料、Onto进口，量测设备的国产化主要有上海精测半导体、中科飞测、上海睿励、东方晶源；

7、镀铜设备：对美依赖度93%，主要从美国Lam Research进口，镀铜设备的国产化主要有盛美半导体。

来源：第一财经资讯