投资人可依据清单内容，将成份股票交付ETF的基金管理人而取得“实物申购基数”或其整数倍的ETF；以上流程将创造出新的ETF，使得ETF在外流通量增加，称之为实物申购。实物赎回则是与之相反的程序，使得ETF在外流通量减少，也就是投资人将“实物申购基数”或其整数倍的ETF转换成实物申购赎回清单的成份股票的流程。
ETF的实物申购与赎回只能以实物交付，只有在个别情况下(例如当部分成份股因停牌等原因无法从二级市场直接购买)，可以有条件地允许部分成份股采用现金替代的方式。
举例而言，对于上证50指数ETF，“申购”是指用一篮子指数成份股股票换取一定数额的ETF基金份额。例如，投资者可使用187手中国联通、36手浦发银行、12手白云机场等50只股票，换取100万份ETF基金份额(即1个“最小申购、赎回单位”)；或者374手中国联通、72手浦发银行、24手白云机场等50只股票，换取200万份ETF基金份额(即2个“最小申购、赎回单位”)。